Teknologi Lapisan Tipis Koordinator : Dr. Ir. Irzaman, M.Si Asisten : Heriyanto Syafutra Program Pasca Sarjana Biofisika Departemen Fisika Institut Pertanian Bogor
Pada praktikum Teknologi Lapisan Tipis ini, Mahasiswa akan belajar membuat film tipis dengan mengggunakan Teknologi Sol gel dengan metode Chemical Solution Deposition (CSD) Spincoating. Film tipis yang akan dibuat adalah film tipis Barium Strontium Titanate (BST) murni dan BST yang didoping Ferrium 2,5% dari massa BST yang terbentuk. BST yang akan dibuat ini memiliki fraksi Barium 0,25. Sebagai pelarut digunakan 2-metoksiethanol. Variasi suhu annealing film tipis BST ini adalah 800oC, 850oC dan 900oC dan akan dikarakterisasi sesuai dengan matrik di slide berikutnya. Dari praktikum ini diharapkan mahasiswa dapat menghasilkan tulisan yang nantinya akan di submite ke Seminar Nasional/Jurnal Nasional. Dengan format Penulisan penulis (Irzaman, Heriyanto Syafutra, Mahasiswa)
Ba0,25Sr0,75TiO3 Doping Fe 2,5% 2-metoksiethanol Kel. 1 Rahmi Seorim Kel. 2 Noerhayati Sem Serah Kel. 3 Ihsan Deni Zahro Kel. 4 Rani Casnan Kel. 5 Inna Joko Absorbansi I-V Dielektrik Fotokonduk tivitas Fotovoltaik Firroelektri k Gelomban g Elektromagn etik 800oC 1 2 3 850oC 900oC
Minggu Ke Tanggal Kegiatan Kel 1 27 – 02 – 2010 Kuliah Perdana Semua Kelompok 2 06 – 03 – 2010 Memotong Plat Kaca Preparat 3 13 – 03 – 2010 Memotong Substrat Silikon 4 20 – 03 – 2010 Mencuci Substrat 5 21 – 03 – 2010 Menimbang 6 27 – 03 – 2010 Teori 7 03 – 04 – 2010 Libur (Studi Literatur) 8 10 – 04 – 2010 9 17 – 04 – 2010 10 23&24 – 04 – 2010 Membuat Larutan (1,5 Jam) Spin Coating (1 jam) Kel 1 dan 2 24&25 – 04 – 2010 Kel 3, 4 dan 5 25&26 – 04 – 2010 Kel 6 dan 7 26 – 04 - 2010 Furnace suhu 800oC 28 – 04 – 2010 Furnace suhu 850oC 30 – 04 – 2010 Furnace suhu 900oC 11 01 – 05 – 2010 Menganyam Film 12 08 – 05 – 2010 Membuat Kontak 13 15 – 05 – 2010 Membuat Device dan Rangkaian Elektronik 14 21&22 – 05 – 2010 Karakterisasi Masing-masing Kel 1, 2 dan 3 22&23 – 05 – 2010 Kel 4 dan 5 23&24 – 05 – 2010 15 29 – 05 – 2010 Membuat Makalah 16 06 – 06 - 2010 17 12 – 06 – 2010 Presentasi dan 10 helai makalah 18 19 – 06 – 2010 Submitte ke Seminar Nasional/Jurnal Nasional