MUGI RAHARJO, 4250403021 Struktur Kristal, Sifat Listrik (Resistivitas) dan Sifat Optik Film Tipis ZnO dengan Doping Al yang ditumbuhkan dengan Metode.

Slides:

Advertisements

Presentasi serupa

KHOIDATUL MAKHNUNAH, PERFORMANSI KELISTRIKAN HETEROJUNCTION CdTe/CdS YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE DC MAGNETRON SPUTTERING.

Advertisements

MIFTAHUDIN RAHARJO, Penerapan Multimedia Berbasis Ulead Video Studio dalam Pembelajaran Model Discovery Learning sebagai Upaya Meningkatkan.

LAYYINATUS SYIFA, PENDETEKSIAN HETEROSKEDASTISITAS DENGAN PENGUJIAN KORELASI RANK SPEARMAN DAN TINDAKAN PERBAIKANNYA.

SRI KARYAWATI, HUBUNGAN KAUSAL ANTARA KEMAMPUAN NUMERIK DAN KEMAMPUAN REASONING DENGAN PENGUASAAN KONSEP FISIKA POKOK BAHASAN GETARAN DAN GELOMBANG.

NINIK RAHAYU, MODEL PERPINDAHAN KALOR PADA MESIN PENGERING PADI.

HADI SANTOSO, ANALISIS KORELASI BERDASARKAN KOEFISIEN KONTINGENSI C MENURUT CRAMER DAN SIMULASINYA.

YENI DARMAWATI, Eksplorasi Kandungan Unsur pada Limbah Cair Pabrik Galvanis dengan Metode Analisis Aktivasi Neutron Thermal Reaktor Kartini.

WAHYU EKO WIJAYANTO, MODEL MATEMATIKA DAN SOLUSI DARI SISTEM GETARAN DUA DERAJAT KEBEBASAN (GETARAN TERGANDENG)

TANGGUH WICAKSONO, Penerapan Media Peraga Berbasis Programmed fuel Injection (Supra 125 PGM-FI) sebagai Upaya untuk Meningkatkan Hasil Belajar.

ANWAR MASHUDI, Rancang Bangun Detektor Kamera Radiasi Untuk Memperkenalkan Sifat Absorbsi Sinar Radioaktif Pokok Bahasan Radioaktivitas Kepada.

UMI WIDURI, PENGARUH TEKANAN GAS ARGON PADA PENUMBUHAN FILM TIPIS Ga2O3 DOPING Mn DENGAN MENGGUNAKAN METODE DC MAGNETRON SPUTTERING.

NUR ALFI KUNUL YAQIN, Analisa Gradasi Agregat Campuran Pasir Pantai dan Pasir Lokal Sebagai Bahan Beton Kedap Air dan Beton Normal.

MUHAMAD ZAENAL MUHLISIN, Kajian Pengaruh Variasi Rasio Si/Al dan Variasi Kation Terhadap Perubahan Ukuran Pori Zeolit Y dengan Menggunakan Metode.

SITI MASRUROH, analisis taksonomi SOLO pada soal ujian akhir sekolah mata pelajaran fisika di SMA N kutowinangun kabupaten kebumen tahun pelajaran.

MUHAMMAD AKROM, Pembuatan MMC (Metal Matrix Composites) Berbasis Teknologi Powder Metallurgy dengan Bahan Baku Aluminium dari Limbah Kaleng.

MUSTARIYADI, PERSEPSI DUNIA INDUSTRI TERHADAP KEMAMPUAN SISWA RUMPUN BANGUNAN SMK NEGERI 5 SEMARANG DALAM PELAKSANAAN PENDIDIKAN SISTIM GANDA.

MISBAKUL MUNIR, Pengaruh Suhu terhadap Laju Perpindahan Massa pada Proses Pengeringan dengan Metode Temperatur Rendah (Low Temperature Drying)

NURUL HIDAYATULLOH, KEMAMPUAN ARESTER UNTUK PENGAMAN TRANSFORMATOR PADA GARDU INDUK SRONDOL 150 KV.

KALPIKO, Penerapan Media Peraga Sistem Pengapian Berbasis Kontak Point sebagai Upaya Meningkatkan Hasil Belajar Kelistrikan Otomotif pada Mahasiswa.

BAGUS RIFKI ABDUL AZIS, Analisis Kapasitas Ruang Parkir Mobil Untuk Kawasan FMIPA, FBS, dan Rektorat Universitas Negeri Semarang.

ANISA KURNIAWATI, PENYELESAIAN KASUS BEBERAPA INTEGRAL TAK WAJAR DENGAN INTEGRAN MEMUAT FUNGSI EKSPONENSIAL DAN FUNGSI LOGARITMA.

MUHAMMAD AZKA, PENCARIAN PANJANG LINTASAN PADA JARINGAN MELALUI PENDEKATAN PROGRAM LINEAR.

YUNI SETYO UTAMI, Eksplorasi Unsur-Unsur Limbah Padat Pada Industri Pengecoran Logam Di Desa Pesarean Kecamatan Talang Kabupaten Tegal.

DEVIE KURNIA WIJAYANTI, APLIKASI METODE TRANSPORTASI DENGAN PROGRAM SOLVER DALAM MEMINIMUMKAN BIAYA PENGIRIMAN PRODUK (STUDI KASUS PT. RAJAA.

ANA IFADAH, ANALISIS METODE PRINCIPAL COMPONENT ANALYSIS (KOMPONEN UTAMA) DAN REGRESI RIDGE DALAM MENGATASI DAMPAK MULTIKOLINEARITAS DALAM ANALISIS.

FANDHY RUSMIYATNO, PENGARUH FRAKSI VOLUM SERAT TERHADAP KEKUATAN TARIK DAN KEKUATAN BENDING KOMPOSIT NILON EPOKSI RESIU SERAT PENDEK RANDOM.

SOFIANTO, Rancang Bangun Prototipe Sistem Otomatisasi Pengatur Level Permukaan Air Berbasis Mikrokontroler AT89S51.

HANNA ARDIYANTI, PERBANDINGAN KEEFEKTIFAN METODE REGRESI ROBUST ESTIMASI-M DAN ESTIMASI-MM KARENA PENGARUH OUTLIER DALAM ANALISIS REGRESI LINEAR.

HERRY DWI LEKSONO, PENGARUH SUDUT SERANG DAN ASPEK RASIO PADA PLAT LENGKUNG TERHADAP KOEFISIEN PERPINDAHAN KALOR.

IRPAN SUSANTO, DERET FOURIER, KONSEP DAN TERAPANNYA PADA PERSAMAAN GELOMBANG SATU DIMENSI.

ELI DAYATI, Sintesis dan Karakterisasi Mangan Ferit Dengan Metode Presipitasi.

ABDUL GOFUR ROCHMAN, APLIKASI PROGRAM LINIER MENGGUNAKAN LINDO PADA OPTIMALISASI BIAYA BAHAN BAKU PEMBUATAN ROKOK PT. DJARUM KUDUS.

ABDUL ROZAK, MENINGKATKAN PEMAHAMAN SISWA DALAM PELAJARAN SEJARAH KELAS XI.IS 2 SMA NEGERI 11 SEMARANG MELALUI MODEL PEMBELAJARAN ARTIKULASI.

TULUS JATMIKO, PENGARUH VARIASI BENTUK PILAR TERHADAP PERILAKU GERUSAN LOKAL.

MOCHAMAD REZA YULIATMAJA, Kajian Lama Penyinaran Matahari dan Intensitas Radiasi Matahari terhadap Pergerakan Semu Matahari Saat Solstice di.

AYU SETYO PURWANDHANI, METODE AANC UNTUK PENENTUAN DISTRIBUSI LOGAM PADA CUPLIKAN AIR DI SUNGAI KALIGARANG.

HARNI ULFIANA, OPTIMASI JARINGAN LISTRIK DENGAN ALGORITMA PRIM DAN APLIKASI PROGRAM MATLAB (STUDI KASUS PLN KOTA PEKALONGAN)

HANIFAH PUTRI WIJAYA, PENYELESAIAN MATCHING BOBOT MAKSIMUM MASALAH PENUGASAN DENGAN METODE HUNGARIAN.

HENDY LAKSONO, Pengaruh Pengaplikasian Manipulator O2 Sensor Terhadap Performa Mesin Turbo 4E-FTE.

SINTA DYANA SANTI, PENGARUH KONDISI SOSIAL EKONOMI ORANG TUA TERHADAP PRESTASI BELAJAR SOSIOLOGI SISWA KELAS XII IPS SMA N 1 KARANG TENGAH KABUPATEN.

NILA PRASETYA ARYANI, PENGARUH DOPING Cu TERHADAP STRUKTUR DAN SIFAT OPTIK FILM TIPIS CdTe YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE DC MAGNETRON SPUTTERING.

RINTO AGUSTINO, Fabrikasi dan Studi Komposisi Kaca Posfat.

HANIF HIDAYAT ARRAHMI, ANALISIS JUMLAH PENDAPATAN PERKAPITA PENDUDUK TERHADAP TINGKAT KEMATIAN KASAR (CDR/CRUDE DEAD RATE) DI KABUPATEN BREBES.

KHANIFATUN, Pemantauan Radioaktivitas Udara di Ruang Reaktor Kartini.

MOH NUR AKHLIS, Peningkatan Kemampuan Menulis Puisi dengan Teknik Ungkap Perasaan pada Siswa Kelas VII MTs Al Burhan Semarang Tahun Pelajaran.

DANY KEMIYATI, Bimbingan Belajar Matematika Dalam Meningkatkan Kemampuan Membaca Waktu Yang Ditunjukan Jarum Jam Pada Siswa Kelas II di SD Negeri.

MOHAMMAD LATIFUL FUAD, PENGARUH PERPUTARAN MODAL KERJA TERHADAP PROFITABILITAS KOPERASI SERBA USAHA (KSU) di KOTA SEMARANG TAHUN

ISTNAINISSALAM, PERBEDAAN SUHU KABEL NYA BERLABEL LMK (TINJAUAN TERHADAP KUAT HANTAR ARUS MAKSIMUM)

MOCHAMAD RIDWAN, OPTIMASI BERSYARAT DENGAN MENGGUNAKAN MULTIPLIER LAGRANGE DAN APLIKASINYA PADA BERBAGAI KASUS DALAM BIDANG EKONOMI.

DWI UMI WIDY ASTUTI, PENGUKURAN RESISTIVITAS UNTUK MENENTUKAN KEDALAMAN BATUAN DASAR (BASEMENT) STUDY KASUS DI DESA PACEKELAN, KEC. PURWOREJO,

MUHAMMAD RIDLUWAN, PENGARUH TEMPERATUR PENCELUPAN TERHADAP KEKERASAN, LAJU KOROSI, DAN STRUKTUR MIKRO PADA BAJA KARBON RENDAH DENGAN PELAPISAN.

AHMAD JUNAIDI, MEMBRAN ELEKTROLIT DARI KOMPOSIT PVA-LiOH DENGAN NANOPARTIKEL SILIKA TERDISPERSI.

YULIANA SETIASIH, Penggunaan Media Pembelajaran Berbasis Macromedia Authorware 7.0 Pokok Bahasan Teori Kinetik Gas untuk Meningkatkan Minat.

ALI SUBKHI, Peningkatan Hasil Belajar Kelistrikan Otomotif dengan Menggunakan Alat Peraga Sistem Pengapian Konvensional pada Mahasiswa D3 Teknik.

NURUL MUSTAFIT, Implementasi Problem Solving Laboratory sebagai Model Kegiatan Laboratorium Berbasis Inquiry untuk Meningkatkan Pemahaman Konsep.

DIAN AYUNINGTYAS PURWANDARI, EFEKTIVITAS PEMANFAATAN MEDIA KARTU HURUF DALAM PENGENALAN HURUF ABJAD UNTUK MENINGKATKAN KEMAMPUAN BERBAHASA ANAK.

Identitas Mahasiswa - NAMA : RAVENDRA ARISANDI S - NIM : PRODI : Teknik Mesin - JURUSAN : Teknik Mesin - FAKULTAS : Teknik -

YUNUS ARIFIANTO, Tingkat Minat, Motivasi dan Lingkungan Mahasiswa Pendidikan Teknik Elektro Universitas Negeri Semarang pada Semester I Tahun.

GALIH ROSITA DEWI, Pengaruh Penggunaan Model Pembelajaran ARCS (Attention, Relevance, Confidence, Satisfaction) Terhadap Peningkatan Motivasi.

M. SULHAN, Pengaruh Daya Plasma Terhadap Struktur Mikro, Sifat Listrik dan Sifat Optik Film Tipis Cadmium Sulfida yang Ditumbuhkan dengan Metode.

SUNGADIYANTO, STUDI EKSPERIMENTAL PERFORMA MESIN PENGKONDISIAN UDARA (AC) MC QUAY DENGAN REFRIGERAN R-22 PADA LABORATORIUM TEKNIK MESIN UNIVERSITAS.

KHAMIDA SITI NUR ATIQOH, ANALISIS KESALAHAN SISWA KELAS VIII SMP NEGERI 30 SEMARANG DALAM MENYELESAIKAN SOAL PEMECAHAN MASALAH PADA MATERI POKOK.

SANTI YULI ASTUTI, STRUKTUR DAN SIFAT LISTRIK FILM TIPIS CdTe:Cu YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE DC MAGNETRON SPUTTERING.

Identitas Mahasiswa - NAMA : YULIANI - NIM : PRODI : Pendidikan Fisika - JURUSAN : Fisika - FAKULTAS : Matematika dan Ilmu Pengetahuan.

MOHAMAD MIFTAKHUL FALAH, PENGEMBANGAN MODEL PEMBELAJARAN FISIKA BERBASIS EMPAT PILAR PENDIDIKAN UNESCO DI SMA.

FISTA NIHAYAH, PROFIL GAYA BELAJAR (LEARNING STYLE) DAN IPK MAHASISWA JURUSAN BIOLOGI FMIPA UNNES.

AKHMAD SOCHIBIN, Model Pembelajaran Inquiry Terpimpin pada Sub Pokok Bahasan Air dan Sifatnya untuk Meningkatkan Pemahaman Konsep dan Menumbuhkan.

NGAIDATUN FAIZAH, Model Pembelajaran Kooperatif Tipe TGT dengan Menggunakan Poster dan Media Kartu Soal untuk Meningkatkan Minat dan Hasil Belajar.

FANY ROCHMAWATI DEWI, EKSPLORASI KEGIATAN LABORATORIUM FISIKA DASAR DI JURUSAN FISIKA FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM UNIVERSITAS.

YUSUP SUBAGYO, PEMBELAJARAN SAINS DENGAN PENDEKATAN KETERAMPILAN PROSES UNTUK MENINGKATKAN HASIL BELAJAR SISWA SEKOLAH MENENGAH PERTAMA PADA.

Transcript presentasi:

MUGI RAHARJO, Struktur Kristal, Sifat Listrik (Resistivitas) dan Sifat Optik Film Tipis ZnO dengan Doping Al yang ditumbuhkan dengan Metode DC Magnetron Sputtering

Identitas Mahasiswa - NAMA : MUGI RAHARJO - NIM : PRODI : Fisika - JURUSAN : Fisika - FAKULTAS : Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam - mugi_r82 pada domain plasa.com - PEMBIMBING 1 : Dr. Sugianto, M.Si. - PEMBIMBING 2 : Dra. Pratiwi Dwijananti, M.Si. - TGL UJIAN :

Judul Struktur Kristal, Sifat Listrik (Resistivitas) dan Sifat Optik Film Tipis ZnO dengan Doping Al yang ditumbuhkan dengan Metode DC Magnetron Sputtering

Abstrak Telah ditumbuhkan lapisan tipis ZnO:Al di atas substrat corning glass dengan metode DC magnetron sputtering. Permasalahan yang dikaji dalam penelitian ini adalah bagaimana struktur kristal lapisan tipis ZnO:Al yang ditumbuhkan diatas substrat corning glass dengan metode dc magnetron sputtering serta karekteristik sifat listrik dan sifat optik, yang meliputi beberapa metode antara lain, Pembuatan target ZnO:Al, Penumbuhan film tipis ZnO:Al, dan karakteristik film tipis (XRD, resistivitas, dan sifat optik). Hasil karekterisasi dan analisis difraksi sinar-X menunjukkan lapisan tipis ZnO:Al yang ditumbuhkan dengan temperatur 450 oC memiliki strain yang lebih besar dibandingkan dengan lapisan tipis yang ditumbuhkan dengan temperatur 550 oC. Puncak difraksi lapisan tipis ZnO:Al dominan pada puncak difraksi (002) pada sudut 2 � sekitar 34,2o. Dari analisis sifat listrik (resistivitas) menggunakan pengukuran I-V dengan metode empat probe menunjukan lapisan tipis ZnO doping Al memiliki resistivitas sebesar (0,62 – 0,65) × 10-3 � cm. Resistivitas listrik lapisan tipis ZnO menurun dengan adanya penambahan Al dalam proses penumbuhan. Resistivitas lapisan tipis ZnO:Al berbanding terbalik dengan konduktivitas listrik lapisan tipis ZnO:Al. Dan dari hasil analisis sifat optik (transmitansi) lapisan tipis ZnO:Al yang ditumbuhkan pada suhu 550 oC mempunyai transmitansi yang lebih baik, dengan energi gap sebesar 3,2 eV.

Kata Kunci dc magnetron sputtering, sifat listrik, sifat optik, struktur kristal, ZnO:Al

Referensi Chaabouni. F.M Abaab. M., Rezig. B Efffect of The Substrate Temperature on The Properties of ZnO Film Grown by RF Magnetron Supptering. Elsevier, vol B109. Cao. H.T., Pei. Z.L., Gong. J., Sun. C., Huang. R.F., Wen. L.S Prepartion and Charecrerization of Al and Mn Doped ZnO(ZnO)Al,Mn) Transparent Conducting Oxide Films.Department of Surface Engineering of Materials, Institute of Metal Research, The Chinese Academy of Sciences, Shenyang, PR China. Dhanu, Irfan Pengruh Doping Unsur Eu Pda Sifat Fisis Film Tipis Ga 2 O3Yang Ditumbuhkan Dengan Metode dc Magnetron Sputtering. FISIKA FMIPA UNNES. Fan. Z., Lu. J.G Zinc Oxide Nanostructure: Synthesis and Properties Thesis. Department of Chemical Engineering and Material Science & Department of Electrical Engineering and Computer Science University of California: Irvine:9 Gao.W., Li. Z.W ZnO Thin Film Produced by Magnetron Sputtering. Elsevier, vol 30. Helen, H. Z Optical and Electronic Properties of GaN : A Comparative Study With Partricular Reference to Laser Induced Chemical Vapaour Depositied Film (Thesis). Masquarie University, Australia. Indirawati, A Pengaruh Doping Pd dan Au Pada lapisan Tipis ZnO Sebagai Sensor Gas. Skripsi. Semarang: FISIKA FMIPA UNNES. Jhonson, R. L Characterization of Piezoelectric ZnO Thin Film and The Fabrication of Piezoelectric Micro-cantivelers. Joshi, C Charaecterization And Corrosion of BCC-Tantalum Coating Deposited On Aluminium And Stell Substrat by Dc Magnetron Sputtering (thesis). New jeresy:new jeresy institute of technology press. Konuma, M Film Deposision by Plasma Techniques. Berlin. Springer- Verlag. Ogita. M., Hugo. K., Nakanishi. Y., Hatanaka. Y Ga2O3 Thin Film For Oxigen Sensor at High Tempetarure. Elsevier, vol Lawarence, H Robins, Jeremiah R. Lowney, and Dennis K. Wickenden Chatodoluminescence, and Optikal Absorbance Spectroscopy of Aluminium Gallium Nitride (AlxGa1-xN) film. Jurnal mater. Res. Vol.13. no. 9 sep 1998 Mendelung, O Semiconductor Basic Data. Berlin:springer-verlag. Morkoc, H Nitride Semiconductors and Devices. Berlin Springer-verlag. Purwaningsih, Y. S Pembuatan Film tipis ZnO : Al Pada Substrat Kaca dengan Metode dc Magnetron Sputtering dan Karakterisasi Sifat Fisisnya. Yogyakarta: FISIKA FMIPA UGM (Tesis). Rio, R.S & Iida, M Fisika dan Teknologi Semikonduktor. P.T. Pradnya Paramita: Jakarta. Wasa, K and Hayakawa, S Hand Book Of Sputtering Deposition Tecnology. Principles, Technology and Apllication. Park Ridge. New Jersey. USA Noyes Publication. Schoder, K.D Semiconductor Material and Device Characterization. Canada: Jhon wiley & sons, inc. Singh, J Physics of Semiconductors and Their Heterostructures. Singapore:McGraw-hill. Suryadi, H. Sudjatmoko, Atmono, T. M Fisika Plasma (Diktat Kuliah Workshop Sputtering Untuk Rekayasa Permukaan Bahan). Yogyakarta Puslitbang Teknologi Maju BATAN:8. Suryanarayana, C. And G.M. Nirton X-ray Diffraction A Partical Approach. New York: plenum Press. V. Bilgin, et al The Effect of Substrate Temperature on Structural and Physical Properties of Ultrasonically Sprayed Cds Film. Materials Chemistry and Physics.94. Wahyuni, Ari Struktur Mikro dan Karekteristik Sifat Listrik Lapisan Tipis ZnO yang Ditumbuhkan Dengan Metode Dc Magnetron Sputtering. Semarang. Universitas Negri Semarang. Wilson, W.W Study of Transparent Conducting ZnO Grown by Metalorganic Chemical Vapor Deposition and Its Applications to Amrphous Silicon Solar Cell, Doctoral Disesertation. Tokyo institute Technology, Japan. Wikipedia Wiyanto Karekteristik Sifat Listrik Film Tipis ZnO Dengan Metode Van der Paw. Tesis. ITB: Bandu

Terima Kasih