M. SULHAN, 4250405002 Pengaruh Daya Plasma Terhadap Struktur Mikro, Sifat Listrik dan Sifat Optik Film Tipis Cadmium Sulfida yang Ditumbuhkan dengan Metode.

Slides:

Advertisements

Presentasi serupa

KHOIDATUL MAKHNUNAH, PERFORMANSI KELISTRIKAN HETEROJUNCTION CdTe/CdS YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE DC MAGNETRON SPUTTERING.

Advertisements

NINIK RAHAYU, MODEL PERPINDAHAN KALOR PADA MESIN PENGERING PADI.

FREDI NOVIANTO, ANALISIS RELIABILITAS UNTUK DATA TAHAN HIDUP SAMPEL TERSENSOR TUNGGAL TIPE I DAN TIPE II DI BAWAH MODEL DISTRIBUSI WEIBULL MELALUI.

HADI SANTOSO, ANALISIS KORELASI BERDASARKAN KOEFISIEN KONTINGENSI C MENURUT CRAMER DAN SIMULASINYA.

YENI DARMAWATI, Eksplorasi Kandungan Unsur pada Limbah Cair Pabrik Galvanis dengan Metode Analisis Aktivasi Neutron Thermal Reaktor Kartini.

WAHYU EKO WIJAYANTO, MODEL MATEMATIKA DAN SOLUSI DARI SISTEM GETARAN DUA DERAJAT KEBEBASAN (GETARAN TERGANDENG)

MUHAMAD ZAENAL MUHLISIN, Kajian Pengaruh Variasi Rasio Si/Al dan Variasi Kation Terhadap Perubahan Ukuran Pori Zeolit Y dengan Menggunakan Metode.

SITI MASRUROH, analisis taksonomi SOLO pada soal ujian akhir sekolah mata pelajaran fisika di SMA N kutowinangun kabupaten kebumen tahun pelajaran.

ANISA KURNIAWATI, PENYELESAIAN KASUS BEBERAPA INTEGRAL TAK WAJAR DENGAN INTEGRAN MEMUAT FUNGSI EKSPONENSIAL DAN FUNGSI LOGARITMA.

J U M A N I, PENGEMBANGAN PERANGKAT PEMBELAJARAN DENGAN PENDEKATAN PENDIDIKAN MATEMATIKA REALISTIK (PMR) BERBANTUAN CD INTERAKTIF MATERI ARITMATIKA.

TENISIYANI, PENYELESAIAN TRAVELLING SALESMAN PROBLEM TIPE SIMETRIS PADA PENERBIT ERLANGGA SEMARANG MENGGUNAKAN ALGORITMA HEURISTIK.

SURYA AGUNG ERMANTO, APLIKASI MS. ACCESS, MS

ANA IFADAH, ANALISIS METODE PRINCIPAL COMPONENT ANALYSIS (KOMPONEN UTAMA) DAN REGRESI RIDGE DALAM MENGATASI DAMPAK MULTIKOLINEARITAS DALAM ANALISIS.

FANDHY RUSMIYATNO, PENGARUH FRAKSI VOLUM SERAT TERHADAP KEKUATAN TARIK DAN KEKUATAN BENDING KOMPOSIT NILON EPOKSI RESIU SERAT PENDEK RANDOM.

SOFIANTO, Rancang Bangun Prototipe Sistem Otomatisasi Pengatur Level Permukaan Air Berbasis Mikrokontroler AT89S51.

IRPAN SUSANTO, DERET FOURIER, KONSEP DAN TERAPANNYA PADA PERSAMAAN GELOMBANG SATU DIMENSI.

TULUS JATMIKO, PENGARUH VARIASI BENTUK PILAR TERHADAP PERILAKU GERUSAN LOKAL.

MUGI RAHARJO, Struktur Kristal, Sifat Listrik (Resistivitas) dan Sifat Optik Film Tipis ZnO dengan Doping Al yang ditumbuhkan dengan Metode.

NILA PRASETYA ARYANI, PENGARUH DOPING Cu TERHADAP STRUKTUR DAN SIFAT OPTIK FILM TIPIS CdTe YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE DC MAGNETRON SPUTTERING.

RINTO AGUSTINO, Fabrikasi dan Studi Komposisi Kaca Posfat.

AHMAD BAHRUL MS, MODEL PEREDAMAN GELOMBANG LAUT YANG MENYEBABKAN EVOLUSI TERHADAP WILAYAH PANTAI.

RIFKI SANTOSO BUDIARJO, PROSEDUR PEMBAYARAN KLAIM PADA ASURANSI UMUM PT. SARANA LINDUNG UPAYA KANTOR CABANG SEMARANG.

NAJIB YUDHA ASKARI, APLIKASI PROGRAM LINDO UNTUK OPTIMALISASI BIAYA BAHAN BAKU PEMBUATAN TENUN IKAT SUTRA DI PERUSAHAAN TENUN IKAT SUTRA TUNAS.

NUHYAL ULIA, KEEFEKTIFAN MODEL PEMBELAJARAN COURSE REVIEW HORAY MATERI KELILING DAN LUAS DAERAH LINGKARAN TERHADAP KEMAMPUAN PEMECAHAN MASALAH.

Identitas Mahasiswa - NAMA : DIDIK PRAMONO - NIM : PRODI : Akuntansi - JURUSAN : Akuntansi - FAKULTAS : Ekonomi - iyai_jupe pada.

MOCHAMAD RIDWAN, OPTIMASI BERSYARAT DENGAN MENGGUNAKAN MULTIPLIER LAGRANGE DAN APLIKASINYA PADA BERBAGAI KASUS DALAM BIDANG EKONOMI.

AGUS SURONO, PEMANFAATAN MOUSE OPTIK KOMPUTER SEBAGAI SENSOR UNTUK MENENTUKAN LETAK SUATU ROBOT.

MUHAMMAD RIDLUWAN, PENGARUH TEMPERATUR PENCELUPAN TERHADAP KEKERASAN, LAJU KOROSI, DAN STRUKTUR MIKRO PADA BAJA KARBON RENDAH DENGAN PELAPISAN.

ARDIAN EKO DARMAWAN, PENGARUH KEPEMIMPINAN, LINGKUNGAN KERJA DAN DISIPLIN KERJA KARYAWAN TERHADAP KINERJA KARYAWAN PT. SARI TEMBAKAU HARUM KABUPATEN.

ERWIN SETIAWAN, PENGARUH PROSENTASE CAMPURAN BATU BARA TERHADAP KARAKTERISTIK BRIKET BATANG JAGUNG.

SUMARYANTO, ANALISIS VARIASI OVERLAP DAN JARAK ANTAR SUDU TERHADAP PERFORMA TURBIN SAVONIUS TIPE L.

OKVIANTARI, ANALISIS PERBEDAAN ANTARA KINERJA KEUANGAN SEBELUM DENGAN SESUDAH KENAIKAN HARGA BAHAN BAKAR MINYAK (BBM)TAHUN 2005 PADA PT. PANDU.

YULIANA SETIASIH, Penggunaan Media Pembelajaran Berbasis Macromedia Authorware 7.0 Pokok Bahasan Teori Kinetik Gas untuk Meningkatkan Minat.

MIRANTI WIDYAWATI, KEEFEKTIFAN PENERAPAN MODEL PEMBELAJARAN BERORIENTASI QUANTUM TEACHING DALAM MENINGKATKAN HASIL BELAJAR MATEMATIKA SISWA.

APIT KURNIAWATI, BOOTSRAP CONFIDENCE INTERVAL UNTUK PENYIMPANGAN ASUMSI NORMALITAS PADA STRUCTURAL EQUATION MODELING (SEM)

PETIRIANA, BIMBINGAN BELAJAR REMEDIAL UNTUK MENINGKATKAN PEMAHAMAN SISWA DALAM MENGERJAKAN FAKTOR PERSEKUTUAN TERBESAR DAN KELIPATAN PERSEKUTUAN.

NURUL MUSTAFIT, Implementasi Problem Solving Laboratory sebagai Model Kegiatan Laboratorium Berbasis Inquiry untuk Meningkatkan Pemahaman Konsep.

EVENDI SUNARKO, PENGARUH PREHEATED TERHADAP KEKUATAN TEKAN MATERIAL R.42 DI DAERAH PENGARUH PANAS (HAZ)

LAILI ILA KHOMSAH, ANALISIS FAKTOR HARGA, LOKASI USAHA, PELAYANAN DAN PROMOSI TERHADAP LOYALITAS ANGGOTA PADA KUD DARMA TANI BOJA, KABUPATEN.

SULISTYO DWI ANGGORO, ANALISIS SUMBER DAN PENGGUNAAN MODAL KERJA SERTA EFEKTIVITASNYA PADA KPRI USAHA TAMA KECAMATAN PAGERUYUNG TAHUN

THESA ADI SURYANI, Analisis Komparatif Nilai Parameter Seismotektonik dari Hubungan Magnitudo Kumulatif dan Non Kumulatif untuk Jawa Timur Menggunakan.

DIAN NATARIA OKTAVIANI, Pengembangan perangkat pembelajaran investigasi kelompok dengan pendekatan realistik berbantuan edge-CD interaktif materi.

MUHAMADI, Pengaruh Miskonsepsi Terhadap Hasil Belajar Mahasiswa Pendidikan Fisika Semester 2 Angkatan 2008 Pada Pokok Bahasan Gaya-gaya yang.

HERU PURNOMO, PENGEMBANGAN BAHAN AJAR PADA MATERI TENAGA ENDOGEN DI KELAS X SMA NEGERI 1 PEMALANG.

WISNU HIMAWAN, Perbedaan Pengaruh antara Penerapan Pendidikan Kesehatan Reproduksi Remaja (PKRR) di Sekolah dengan Pemberian Media Leaflet terhadap.

RISA WIJAYANTI WINDUNINGSIH, PENGARUH MUSIK KLASIK TERHADAP KECERDASAN INTELEKTUAL DAN PERKEMBANGAN MORAL ANAK USAI DINI.

SITI MARDLIYAH, PERHITUNGAN HARGA POKOK PRODUK RUMAH TIPE SILVER I (T 23/60) DAN TIPE EMERALD (T 70/144) PADA PT KREASI CIPTA BUKIT ASRI SEMARANG.

YANUAR DWI PRIYANTORO, SISTEM AKUNTANSI PENGGAJIAN PEGAWAI PADA KOPERASI PEGAWAI LOGISTIK DEPOT LOGISTIK JAWA TENGAH.

YUDISTIRO ARDI NUGROHO, PENERAPAN SENSOR OPTOCOUPLER PADA ALAT PENGUKUR KECEPATAN ANGIN BERBASIS MIKROKONTROLER AVR ATmega8535.

AHMAD KHUSAERI, Penerapan Mastery Learning Melalui Kegiatan Laboratorium Berbasis Inkuiri Untuk Meningkatkan Keterampilan Proses dan Kemampuan.

WINA AMRINA ROSYADA, Pengaruh Penggunaan Pendekatan Attention, Relevance, Confidence, Satisfaction (ARCS) Terhadap Hasil Belajar Kimia Pada.

GALIH ROSITA DEWI, Pengaruh Penggunaan Model Pembelajaran ARCS (Attention, Relevance, Confidence, Satisfaction) Terhadap Peningkatan Motivasi.

HANDOKO, PEMANFAATAN MEDIA ELEKTRONIK UNTUK MENINGKATKAN KUALITAS PEMBELAJARAN SISTEM KOORDINAT MATA PELAJARAN MATEMATIKA SISWA KELAS VI SD.

RUMINI, ANALISIS DISTRIBUSI BATUAN GAMPING DENGAN APLIKASI GEOLISTRIK METODE TAHANAN JENIS KONFIGURASI POLE-POLE DI DAERAH KARST KABUPATEN WONOGIRI.

SUNGADIYANTO, STUDI EKSPERIMENTAL PERFORMA MESIN PENGKONDISIAN UDARA (AC) MC QUAY DENGAN REFRIGERAN R-22 PADA LABORATORIUM TEKNIK MESIN UNIVERSITAS.

KHAMIDA SITI NUR ATIQOH, ANALISIS KESALAHAN SISWA KELAS VIII SMP NEGERI 30 SEMARANG DALAM MENYELESAIKAN SOAL PEMECAHAN MASALAH PADA MATERI POKOK.

TAUFAN HIMAWAN PUTRA, APLIKASI TEORI ANTRIAN UNTUK MENGANALISIS PROSES ANTRIAN SINGLE CHANNEL SINGLE PHASE PADA LOKET PENGESAHAN ULANG SAMSAT.

ISA AM RIZAL ROKHMAT, KEEFEKTIFAN MODEL PEMBELAJARAN PROJECT-BASED LEARNING TERHADAP HASIL BELAJAR PESERTA DIDIK SMP KELAS VII PADA MATERI.

SANTI YULI ASTUTI, STRUKTUR DAN SIFAT LISTRIK FILM TIPIS CdTe:Cu YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE DC MAGNETRON SPUTTERING.

Identitas Mahasiswa - NAMA : YULIANI - NIM : PRODI : Pendidikan Fisika - JURUSAN : Fisika - FAKULTAS : Matematika dan Ilmu Pengetahuan.

HARDHINI INDRI HAPSARI, ANALISIS MATERI DAN PENYAJIAN BUKU AJAR MATEMATIKA KELAS VIII SMP DI KABUPATEN TEMANGGUNG.

RAGIL SRI MULARSIH, PENGEMBANGAN VIRTUAL EXPERIMENT POKOK BAHASAN OSILASI BERBASIS EASY JAVA SIMULATION (EJS)

DARYANTI, PENERAPAN ALGORITMA BRANCH AND BOUND DAN METODE HONGARIA DALAM MENYELESAIKAN PERSONNEL ASSIGNMENT PROBLEM.

BANI CHAJAR, APLIKASI MODUL FISIKA DALAM PEMBELAJARAN BERBASIS MASALAH UNTUK MENINGKATKAN KREATIVITAS DAN KEMAMPUAN PEMECAHAN MASALAH PESERTA.

MOHAMAD MIFTAKHUL FALAH, PENGEMBANGAN MODEL PEMBELAJARAN FISIKA BERBASIS EMPAT PILAR PENDIDIKAN UNESCO DI SMA.

Sri Widayati, S.Pd, KEEFEKTIFAN PEMBELAJARAN MODEL KOOPERATIF DENGAN STRATEGI WRITING FROM A PROMPT TERHADAP KEMAMPUAN MENULIS MATEMATIS DAN.

YOKIE HANGGARIA ENGGAR, Deteksi Kelainan Organ Melalui Pemeriksaan Iris Mata Menggunakan Analisis Citra Digital.

INSAN ISLAM SUHING WISMANTO, Perencanaan Pembangunan Gedung Kantor Pelayanan Pajak Pratama Demak.

Identitas Mahasiswa - NAMA : TEGUH SUTRISNO - NIM : PRODI : Teknik Elektro (Instalasi Listrik) - JURUSAN : Teknik Elektro - FAKULTAS :

Analisis XRD Film Tipis CdS

Transcript presentasi:

M. SULHAN, Pengaruh Daya Plasma Terhadap Struktur Mikro, Sifat Listrik dan Sifat Optik Film Tipis Cadmium Sulfida yang Ditumbuhkan dengan Metode DC Magnetron Sputtering

Identitas Mahasiswa - NAMA : M. SULHAN - NIM : PRODI : Fisika - JURUSAN : Fisika - FAKULTAS : Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam - ihsansulhan pada domain yahoo.com - PEMBIMBING 1 : Dr. Sugianto, M.Si. - PEMBIMBING 2 : Dr. Ngurah Made Darma Putra, M.Si. - TGL UJIAN :

Judul Pengaruh Daya Plasma Terhadap Struktur Mikro, Sifat Listrik dan Sifat Optik Film Tipis Cadmium Sulfida yang Ditumbuhkan dengan Metode DC Magnetron Sputtering

Abstrak II-VI yang ditemukan karena kebutuhan akan material semikonduktor. CdS memiliki energy gap 2,4 eV pada suhu ruang, dan mempunyai struktur kristal heksagonal dengan tipe kristal wurtzite, transparansi optik pada daerah tampak, sehingga banyak diaplikasikan dalam pembuatan berbagai peralatan diantaranya transparent conducting oxide (TCO), tranduser surface acoustic wave (SAW), pandu gelombang optik, LED, dan yang baru diteliti dan dikembangkan saat ini adalah sebagai devais sel surya. Permasalahan yang dikaji dalam penelitian ini adalah struktur mikro, sifat optik, dan sifat listrik lapisan tipis CdS yang ditumbuhkan diatas substrat corning glass dengan metode dc magnetron sputtering dengan variasi daya plasma. Hasil karekterisasi dan analisis SEM (Scanning Electron Microscopy) menunjukkan lapisan tipis CdS yang ditumbuhkan dengan daya plasma W memiliki ukuran bulir yang lebih kecil dibandingkan dengan lapisan tipis yang ditumbuhkan pada daya plasma 22 W. Hasil analisis XRD menunjukan bahwa lapisan CdS yang ditumbuhkan pada daya plsama 17,15 W belum muncul puncak, sedangkan pada parameter 22 W muncul puncak di 2θ 15,15 o dengan orientasi kristal (102). Analisis sifat optik (transmitansi) lapisan tipis CdS yang ditumbuhkan pada daya plasma memiliki lebar pita 3.40 eV, sedangkan untuk lapisan tipis CdS yang ditumbuhkan pada daya plasma 22 W mempunyai lebar pita 2.20 eV. analisis sifat listrik (sheet resisance) menggunakan metode dua probe menunjukan lapisan tipis CdS W memiliki sheet resistance sebesar 4.13E+08 Ω/m2, sheet resistance lapisan tipis ZnO:Al menurun dengan adanya penambahan daya plasma. Pada daya plasma 22 W, sheet resistance menjadi 2.94E+08 Ω/m2.

Kata Kunci dc magnetron sputtering, daya plasma, sifat listrik, sifat optik, struktur mikro, CdS

Referensi A. Podesta, N. Armani, G. Salviati, N.Romeo, A.Bosio,M. Prato Influence of The Flourine Doping on The OpticalProperties Of CdS Thin Film For Photovoltaic. Elsevier Thin Solid Film h: Beiser, Arthur Konsep Fisika Modern (terjemahan). Bandung: PT Gelora Angkasa Pratama. Compaan,Alvin D Gupta. Akhlesh, Lee. Sunghyun, Wang. Shanli, Drayton. Jennifer High Efficiency, Magnetron Sputtered CdS/CdTe Solar Cells. Elsevier solar energy. 77 h: Fraden,Jacob Handbook Of Modern Sensor. New York ;United Book Press Hai-Ning Chui dan Shi-Quan Shi The Fabrication Of Dipped and Sputtered ITO Thin Film For Photovoltaic Solar Cell. Elsevier Thin Solid Film 288. h: Hirose,Akira dan Longren, Karl E Introduction Wave Phenomena. New York: John Wiley & Sons. Kumar, Kiran Ch., Hoa, Nguyen Thi Quynh, Yoon, Soon-Gil, Kim, Eui-Tea Highly Photoconductive CdS Thin Film Synthesized by Using Chemical Bath Deposition. Journal of The Korean Physical Society. Vol. 55, No. 1, h: Lawarence, H Robins, Jeremiah R. Lowney, and Dennis K. Wickenden Chatodoluminescence, and Optikal Absorbance Spectroscopy of Aluminium Gallium Nitride (AlxGa1-xN) film. Jurnal mater. Res. Vol.13. no. 9 sep 1998 Omar, Ali M ElementarySolid State Physics:Principles and Apllication. Canada:Addison Wesley Publishing Company Inc Purwaningsih, Y. S Pembuatan Film tipis ZnO : Al Pada Substrat Kaca dengan Metode dc Magnetron Sputtering dan Karakterisasi Sifat Fisisnya. Yogyakarta: FISIKA FMIPA UGM (Tesis). Raji, P., Sanjeeviraja, C., Ramachandran, K Thermal and Structural Properties of Spray Pyrolysed CdS Thin Film. Bull. Mater. Sci. Vol 28, No.3, h: Rio, R.S & Iida, M Fisika dan Teknologi Semikonduktor. P.T. Pradnya Paramita: Jakarta. Sahay, P. P., Nath, R. K., Tewari, S., Optical Properties of Thermalli Evaporated CdS Thin Film. Cryst. Rest. Technol. 42, No. 3, h: Smith, William F Foundation of Materials Scince and Enginering (second edition). Singapor. Mc-Graw-Hill Booc Co. Shour, A Physical Properties Of Spray Pyrolysed CdS Thin Films.Turk Journal Physycs. Vol.27,h: Solymar, L, Walsh, D Electrical Properties of Materials(sixth edition). New York: Oxford University Press. Suryadi, H. Sudjatmoko, Atmono, T. M Fisika Plasma (Diktat Kuliah Workshop Sputtering Untuk Rekayasa Permukaan Bahan). Yogyakarta Puslitbang Teknologi Maju BATAN:8. Suryanarayana, C. And G.M. Nirton X-ray Diffraction A Partical Approach. New York: plenum Press. Sutrisno Elektronika: Teori Dasar dan Penerapannya Jilid 1. Bandung; Penerbit ITB. Thambidurai, M., Murugan, N., Muthukumarasamy, N., Vasantha, S., Balasundaraprabhu, R., Agilan, S Preparation and Characterization of Nanocrystalline CdS Thin Film. Chalcogenide Letters.Vol. 6, No. 4 h: Urbanczyk, Marian. Jakubik, Wieslaw. Maciak, Erwin Sensor Properties of Cadmium Sulphide ( Cds ) Thin Film In Surface Acoustic Wave System-Preleminary Results. Molecular and Quantum Acoustics, vol 26 h: Wasa, K and Hayakawa, S Hand Book Of Sputtering Deposition Tecnology. Principles, Technology and Apllication. Park Ridge. New Jersey. USA Noyes Publication. Youn, Kwan Sik. Yu, Kook Hyun. Song, Jin Soeb. Choi, In hwan Growth Of CdS Thin Film by using MOCVD With Single Source Precursor C10H20CdN2S4 or C14H28CdN2S4. Journal Of The Korean Physical Society.Vol. 47, No. 1 July 2005 p:89-93.

Terima Kasih