Perkembangan Dan Bencmarking pada Multivariate SPC tools untuk proses Semikonduktor BUDI SUTOMO SAM – 071305 NR

Pendahuluan Proses Semikonduktor memilki proses yang sama seperti prosese kimia lainnya, metode ini layak untuk meningkatkan pengukuran. Mampu menurunkan biaya dan mampu melakukan perbaikan berkelanjutan (continue Improvement). Penelitian ini focus pada Lam 9600 metal di Texas Instruments untuk mempelajari Principal Componen Analysis (PCA). Yang mana sama digunakan untuk Multivariate Statistical Process Control (MSPC)

Proses Metal Ada beberapa tahapan simiconductors pada proses metal, standar yang baku ada enam tahap. Tahap 1,2 untuk siklus gas dan menstabilkan tekanan, tahap 3 meringkas pembakaran plasma, tahap 4 adalah yang paling penting yaitu menempatkan Al dan mengakhiri Al pada endpoint, tahap 5 berperan sbg over-etch untuk menempatkan timah dan oksida. proses kimia identik selama tahap 3 samapi tahap 5. tahap 6 keluar dari proses.

Proses Metal Endpoint Signal For Typical Etch Profile

Proses Sensor Dalam memilih sensor pertama kali yang harus dipertimbangkan adalah kapan rencana proses monitoring dan sistem deteksi kesalahan, idealnya sensor yang mampu merefleksikan keadaan. Keadaan khas sensor tidak tersedia yang asli, jadi alternatifnya memilih proses keadaan sensor yang biasa karena pesediaannya banyak

Benchmarking merupakan alat yang penting dalam mendukung usaha-usaha perbaikan yang berkelanjutan Berevolusi dari competitive benchmarking, process benchmarking, dan strategy benchmarking.

Competitive Benchmarking Benchmarking Karakteristik Produk Contoh Pengembangan Mobil Ford dari kompetitor Taurus dan Sable, di mana misi dari Ford untuk mendesain mobil dengan features terbaik di kelasnya pada berbagai kategori yang penting 2. Benchmarking Biaya Produk Biasanya lebih sulit karena lebih rahasia, tetapi bisa diperkirakan berdasarkandat-data pembelian perusahaan atau bertanya pada kelompok-kelompok industri yang bersangkutan

PROCESS BENCHMARKING Tetapkan hal-hal yang diperlukan untuk memahami hasil dari proses, faktor-faktor kesuksesan yang kritis, dan hasil-hasil yang diinginkan. Buat grafik radar untuk memperlihatkan kondisi kinrja sekarang dan kondisi kompetitor

STRATEGY BENCHMARKING Hampir sama dengan process benchmarking karena proses-proses digunakan dalam benchmarking ini. Pada benchmarking ini, terjadi perubahan proses yang bertujuan menciptakan dan mengimplementasikan strategi baru. Adanya pergeseran dalam strategi atau mengadopsi praktek bisnis yang baru meruppakan harapan manajemen untuk menghasilkan keuntungan yang kompetitif